А. И. Мочалов

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

А. И. Мочалов

Подробнее...

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

А. И. Мочалов

Подробнее...