Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие - А. И. Мочалов
| Автор: | А. И. Мочалов |
| Издательство: | «Лаборатория знаний» |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2012 |
| isbn: | 978-5-9963-2569-6 |
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.