В. Ю. Васильев

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста. Учебное пособие для вузов

В. Ю. Васильев

Подробнее...

Методы и возможности in-line контроля тонкопленочных материалов в производстве субмикронных интегральных микросхем

В. Ю. Васильев

Подробнее...

Технология тонких плёнок для микро- и наноэлектроники

В. Ю. Васильев

Подробнее...

Современное производство изделий микроэлектроники

В. Ю. Васильев

Подробнее...

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

В. Ю. Васильев

Подробнее...