Дальнейшее развитие идеи о разделении властей, об обеспечении прав и свобод граждан получили в работах Ш. Монтескье. «Если, – писал он, – власть законодательная и исполнительная будут соединены в одном лице или учреждении, то свободы не будет, так как можно опасаться, что этот монарх или сенат станет создавать тиранические законы для того, чтобы также тиранически применять их. Не будет свободы и в том случае, если судебная власть не отделена от власти законодательной и исполнительной. Если она соединена с законодательной властью, то жизнь и свобода граждан окажутся во власти произвола, ибо судья будет законодателем. Если судебная власть соединена с исполнительной, то судья получит возможность стать угнетателем».
Философское обоснование учения о правовом государстве в его системном виде связывают с именами Канта и Гегеля. Кант определял государство как объединение множества людей, подчиненных правовым законам. Его категоричный императив разума требовал поступать так, чтобы свободное проявление собственного произвола было совместимо со свободой каждого и сообразовывалось со всеобщим законом. Для Гегеля государство было то же самое, что и право («наличное бытие свободной воли»), но только наиболее развитое (вся система права), включающее в себя все абстрактные права личности и общества. Поэтому система права, т. е. государство в его диалектическом понимании, есть царство реализованной свободы.
Словосочетание «правовое государство» впервые встречается в работах немецких ученых К. Велькера (1813 г.) и И.Х. Фрайхера фон Аретина (1824 г.). Но первый юридический анализ данного термина и введение его в научный оборот сделаны их соотечественником Робертом фон Молем (1832 г.). Он рассматривал правовое государство как категорию непрерывно развивающегося учения о государстве и ставил его пятым по счету после патриархального, патримониального, теократического и деспотического государства. Можно сказать, что с этого времени идея о правовом государстве более чем на столетие заняла умы германских ученых и политиков.
В литературе выделяют три этапа развития немецкой идеи правового государства. До революции 1848 г. она формировалась как теоретическое и конституционно-политическое основание его создания. В 1848 г. в проекте Паулкирхенской конституции была сделана попытка соединить идеи о правовом государстве и демократии. С 1871 г. шла детальная разработка принципа разделения властей, понятий закона и судебной защиты. Веймарская конституция 1919 г. интегрировала правогосударственные и представительно-парламентские элементы. Ныне действующий Основной закон объявляет ФРГ социально-правовым