Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств - О. М. Жигалина
| Автор: | О. М. Жигалина |
| Издательство: | МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) |
| Серия: | Учебное пособие (МГТУ им. Н. Э. Баумана) |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2017 |
| isbn: | 978-5-7038-4743-5 |
Изложены основные понятия, относящиеся к науке о строении и свойствах сегнетоэлектрических материалов. Рассмотрены примеры применения и перспективы использования сегнетоэлектрических пленок в интегрированных устройствах современной микроэлектроники, а также основные тенденции развития материалов и технологий в этой области. Подробно рассмотрены вопросы формирования и визуализации структуры многослойных композиций на основе тонких пленок и границ раздела пленка – подложка на атомном уровне с помощью методов электронной микроскопии и моделирования изображений высокого разрешения, а также принципы создания наноструктур в пористых матрицах. Издание иллюстрирует возможности применения методов современного структурного анализа к исследованию и визуализации микро- и наносистем. Для магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Пособие может быть полезно аспирантам, научным и инженерно-техническим работникам, специализирующимся в области материаловедения тонкопленочных материалов.