Технология материалов микро-, опто– и наноэлектроники. Часть 2. Учебное пособие - М. В. Силибин
| Автор: | М. В. Силибин |
| Издательство: | «Лаборатория знаний» |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2012 |
| isbn: | 978-5-9963-2567-2 |
В первой части учебного пособия рассматриваются физико-химические процессы получения материалов, используемых в микро-, опто– и наноэлектронике, в том числе операции выделения химического индивида из исходного сырья, очистка в виде соединений, финишное рафинирование, получение монокристаллов с заданными свойствами. Вторая часть пособия посвящена технологии получения основных компонентов микро-, опто– и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника». Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.