Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1 - М. А. Королев
| Автор: | М. А. Королев |
| Издательство: | «Лаборатория знаний» |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2012 |
| isbn: | 978-5-9963-2904-5 |
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.