Лазеры в микро- и наноэлектронике - А. В. Палий
| Автор: | А. В. Палий |
| Издательство: | Южный Федеральный Университет |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2018 |
| isbn: | 978-5-9275-3083-0 |
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.