Физические основы вакуумной техники - Александр Василевский
| Автор: | Александр Василевский |
| Издательство: | НГТУ |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2014 |
| isbn: | 978-5-7782-2424-7 |
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.