Наноэлектроника - Марина Орлова
| Автор: | Марина Орлова |
| Издательство: | МИСиС |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2013 |
| isbn: |
Рассмотрены физические и технологические основы наноэлектроники. Описаны подходы, позволяющие формировать элементы электронной техники в приборах и устройствах наноэлектроники. Проанализированы тенденции развития наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.