Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 2. Применение лазерных и электронных пучков для обработки поверхности материалов - Анатолий Вяткин
| Автор: | Анатолий Вяткин |
| Издательство: | МИСиС |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2001 |
| isbn: |
Рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие лазерных и электронных пучков с твердыми телами, анализируются решения тепловых задач для случаев их взаимодействия с металлами и полупроводниками, приводятся примеры конкретного решения задач для обработки поверхности металлов закалкой, поверхностным легированием, примеры лазерного отжига полупроводников и др.