Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники - А. П. Достанко
| Автор: | А. П. Достанко |
| Издательство: | Издательский дом “Белорусская наука” |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2016 |
| isbn: | 978-985-08-1993-2 |
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.