Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах - Коллектив авторов
| Автор: | Коллектив авторов |
| Издательство: | ФГУП «Издательство СО РАН» |
| Серия: | Интеграционные проекты СО РАН |
| Жанр произведения: | Физика |
| Год издания: | 2011 |
| isbn: | 978-5-7692-0669-6, 978-5-7692-1183-6 |
Монография посвящена синтезу, атомной, электронной структуре, механизмам переноса заряда и применению диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах флэш-памяти. Рассматриваются наиболее важные и перспективные диэлектрики Al 2 O 3 , HfO 2 , Ta 2 O 5 , ZrO 2 , TiO 2 , твердые растворы (HfO 2 ) x (Al 2 O 3 ) 1 – x . Анализируется также электронная структура трех традиционных ключевых диэлектриков в кремниевых приборах: оксида SiO 2 , оксинитрида SiO x N y и нитрида Si 3 N 4 кремния. Книга адресуется студентам, аспирантам, инженерам и научным сотрудникам, занимающимся физикой твердого тела и микроэлектроникой.