Нанотехнологии и наноматериалы в радиоэлектронике - В. Д. Казаков
Автор: | В. Д. Казаков |
Издательство: | Инфра-Инженерия |
Серия: | |
Жанр произведения: | |
Год издания: | 2024 |
isbn: | 978-5-9729-1809-6 |
Рассматривается основное направление развития нанотехнологии в электронике. Сделан подробный обзор технологий получения наноматериалов: нанопорошков, углеродных нанотрубок, фуллеренов, графенов, кремния на изоляторе, фотонных кристаллов. Изложены основные свойства применяемых в наноэлектронике материалов; описаны методы применения их в полупроводниковых приборах и системах. Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, разрабатывающих наноустройства.