Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии. Учебник для бакалавриата и магистратуры - Александр Сергеевич Сигов
| Автор: | Александр Сергеевич Сигов |
| Издательство: | ""Издательство ЮРАЙТ"" |
| Серия: | Университеты России |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2016 |
| isbn: | 978-5-9916-7153-8 |
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.