Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus - А. А. Глушко
| Автор: | А. А. Глушко |
| Издательство: | МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2015 |
| isbn: | 978-5-7038-4177-8 |
Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».