Твердые растворы на основе карбида кремния - Гаджимет Сафаралиев
| Автор: | Гаджимет Сафаралиев |
| Издательство: | "Физматлит" |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2011 |
| isbn: | 978-5-9221-1297-0 |
Настоящая монография содержит теоретические и экспериментальные результаты исследований в области формирования твердых растворов на основе SiC и соединений AlN, GaN, NbC, TiC, ZrC методами жидкофазной и газофазной эпитаксии. В работе представлены электрофизические, оптические и структурные свойства монокристаллов, эпитаксиальных слоев и гетероструктур на основе твердых растворов SiC, а также рассмотрены их приборные применения. Книга адресована научным работникам, аспирантам и студентам, работающим в области физики и технологии широкозонных полупроводниковых материалов, а также специалистам электронной промышленности.