Оценка погрешности позиционирования прецизионного оборудования - Ю. С. Боброва
| Автор: | Ю. С. Боброва |
| Издательство: | МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 0 |
| isbn: | 978-5-7038-4669-8 |
Рассмотрен технологический процесс изготовления многослойных печатных плат, позволяющий сформулировать требования к качеству выполнения операций, связанных с точным позиционированием инструмента. Приведены сравнительный анализ прецизионных приводов, их состав и ожидаемая точность позиционирования. Для студентов, обучающихся по специальностям «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».