Компоненты микросистемной техники. Введение в моделирование на ANSYS - А. В. Гридчин
| Автор: | А. В. Гридчин |
| Издательство: | Новосибирский государственный технический университет |
| Серия: | Факультет радиотехники и электроники |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2022 |
| isbn: | 978-5-7782-4832-8 |
Пособие посвящено вопросам компьютерного моделирования различных сенсоров и микросистем, из числа разработанных и применяющихся в настоящее время, при помощи системы инженерного моделирования ANSYS. При этом основной акцент в пособии поставлен на описании различных методик и особенностей их реализации в рамках системы ANSYS, которые могут применяться для целей практического моделирования кремниевых механических сенсоров и микросистем. Пособие представлено как вводный курс лабораторных работ по дисциплинам «Физические основы микро- и наносистемной техники» и «Микродатчики». Первый раздел – это по сути обзор возможностей системы ANSYS при помощи приложения ANSYS Help Viewer. Второй раздел посвящен технологии пошагового создания геометрии простейших объектов. В приложении дается краткое описание метода конечных элементов, с точки зрения его применения к решению задачи моделирования и проектирования сенсоров и микросистем.