Вакуумные системы источников синхротронного излучения - А. Б. Беркин
| Автор: | А. Б. Беркин |
| Издательство: | Новосибирский государственный технический университет |
| Серия: | Факультет радиотехники и электроники |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2022 |
| isbn: | 978-5-7782-4831-1 |
Рассмотрены основные требования к вакуумным системам современных источников синхротронного излучения (СИ), особенности их проектирования и расчета. Основной акцент сделан на определяющую роль поверхности в сверхвысоковакуумных установках. Рассмотрены современные подходы к использованию компактных комбинированных насосов, распределенных насосов на основе геттерных материалов и покрытий в реализации эффективной откачки остаточных газов в протяженных вакуумных системах. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.