Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники - Светлана Козубняк
| Автор: | Светлана Козубняк |
| Издательство: | |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2013 |
| isbn: | 978-5-7038-3729-0 |
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».