Нанотехнологии и микромеханика. Часть 4. Зондовые нанотехнологии - Валерий Башков
Автор: | Валерий Башков |
Издательство: | |
Серия: | |
Жанр произведения: | Учебная литература |
Год издания: | 2007 |
isbn: | 5-7038-2938-0 |
Описаны физические явления, используемые в работе сканирующего туннельного микроскопа и атомного силового микроскопа. Рассмотрены физико-химические законы наиболее разработанных зондовых нанотехнологий. Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Нанотехнологии».