Магнетронные распылительные системы. Часть 1. Устройство, принципы работы, применение - Дмитрий Духопельников
| Автор: | Дмитрий Духопельников |
| Издательство: | |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2014 |
| isbn: | 978-5-7038-3798-6 |
Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характеристики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены физические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.