Физические основы микро- и нанотехнологий - Сергей Бычков
| Автор: | Сергей Бычков |
| Издательство: | |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2009 |
| isbn: | 978-5-7038-3319-3 |
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».