Технология интегральных микросхем - Виталий Смирнов
| Автор: | Виталий Смирнов |
| Издательство: | Инфра-Инженерия |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2023 |
| isbn: | 978-5-9729-1232-2 |
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».