Физические основы нанотехнологий и наноматериалы - Виталий Смирнов
Автор: | Виталий Смирнов |
Издательство: | Инфра-Инженерия |
Серия: | |
Жанр произведения: | |
Год издания: | 2023 |
isbn: | 978-5-9729-1246-9 |
Изложены физические основы нанотехнологий, а также свойства наноматериалов, используемых в электронной промышленности и энергетике. Особое внимание уделено технологическим аспектам получения наноматериалов, их свойствам и конструктивным особенностям, позволяющим создавать новые элементы наноэлектроники, нанофотоники и микросистемной техники. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».