Электронная аппаратура. Основные материалы и технологии микро- и наноэлектроники - Игорь Никифоров
| Автор: | Игорь Никифоров |
| Издательство: | Инфра-Инженерия |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2023 |
| isbn: | 978-5-9729-1230-8 |
Рассматриваются материалы и технологии, наиболее широко применяемые в микро- и наноэлектронике, изготовлении микросхем, микромодулей и блоков электронной аппаратуры. Для студентов электротехнических и радиотехнических специальностей и специалистов, занимающихся разработкой радиоэлектронной и силовой электронной аппаратуры.