Микродатчики и микросистемы - А. В. Гридчин
| Автор: | А. В. Гридчин |
| Издательство: | Инфра-Инженерия |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2023 |
| isbn: | 978-5-9729-1220-9 |
Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета ANSYS. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».