Механизмы прецизионных перемещений - Валерий Михайлов
| Автор: | Валерий Михайлов |
| Издательство: | МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2021 |
| isbn: | 978-5-7038-5529-4 |
Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микро- и наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия».