Формирование функциональных слоев - Юрий Панфилов
| Автор: | Юрий Панфилов |
| Издательство: | МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2020 |
| isbn: | 978-5-7038-5350-4 |
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».