Современные устройства и элементы наноэлектроники - Т. В. Штанг
Автор: | Т. В. Штанг |
Издательство: | ФЛИНТА |
Серия: | |
Жанр произведения: | Учебная литература |
Год издания: | 2022 |
isbn: | 978-5-9765-5036-0 |
В пособии рассмотрены физические основы, а также основные типы современных и перспективных элементов наноэлектроники. Особое внимание уделено полевым транзисторам с индуцированным каналом (МОП), их масштабированию и побочным эффектам миниатюризации. Рассмотрены краткие теоретические сведения и задания для практических занятий по разделам, не нашедшим отражения в основной части пособия. Настоящее пособие может быть использовано в учебных целях в вузах физического, приборостроительного и электротехнического профилей.