Приборно-технологическое моделирование устройств микро- и наноэлектроники. Математические модели и программные средства - Павел Маринушкин
| Автор: | Павел Маринушкин |
| Издательство: | Сибирский федеральный университет |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2020 |
| isbn: | 978-5-7638-4263-0 |
Рассмотрены математические модели, которые описывают приборные полупроводниковые структуры, технологические процессы их создания и программные средства, обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 «Электроника и наноэлектроника». Может быть рекомендовано студентам всех специальностей и направлений укрупненной группы 110000 «Электроника, радиотехника и системы связи».