Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие - А. И. Мочалов
| Автор: | А. И. Мочалов |
| Издательство: | «Лаборатория знаний» |
| Серия: | Нанотехнологии |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2013 |
| isbn: | 978-5-9963-2129-2 |
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования. Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.