Техническая механика микросистем - Коллектив авторов
| Автор: | Коллектив авторов |
| Издательство: | «Лаборатория знаний» |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2015 |
| isbn: | 978-5-9963-3001-0 |
Пособие посвящено механике микросистем, являющейся составной частью физики микросистем. Изложены основы теории механических колебаний, анализа напряженно-деформированного состояния несущих элементов, демпфирования, электромеханики. Рассмотрены современные конструкции микрогироскопов и акселерометров, микрозеркала, что обусловлено большим практическим интересом к таким приборам. Предназначено для студентов старших курсов, обучающихся по направлениям (специальностям) «Микросистемная техника» и «Микроэлектроника и твердотельная электроника». Может быть полезно аспирантам и инженерам, занимающимся проектированием и разработкой микросистемной техники.