Зондовые нанотехнологии в электронике - Владимир Неволин
| Автор: | Владимир Неволин |
| Издательство: | |
| Серия: | Мир электроники |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2014 |
| isbn: | 978-5-94836-382-0 |
Прогресс в микроэлектронике связывают с уменьшением линейных размеров функциональных элементов. Если их размеры становятся порядка нанометров, то существенными являются квантовые эффекты, принципиально меняющие физику работы. Созданием таких элементов и интегральных квантовых схем на их основе занимается нанотехнология. В монографии изложены физические основы зондовой нанотехнологии на базе сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов, показаны основные достижения, обсуждаются проблемы, требующие решения. Предназначена для студентов старших курсов, аспирантов и молодых ученых, желающих познакомиться с новым научным направлением и попробовать свои силы в развитии технологии ХХI века.