Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие - Г. И. Зебрев
| Автор: | Г. И. Зебрев |
| Издательство: | «Лаборатория знаний» |
| Серия: | Нанотехнологии |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2012 |
| isbn: | 978-5-9963-2630-3 |
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро– и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».