Технологические процессы в микро- и наноэлектронике - Ю. А. Родионов
| Автор: | Ю. А. Родионов |
| Издательство: | Инфра-Инженерия |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2019 |
| isbn: | 978-5-9729-0337-5 |
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.