Основы микросенсорики - Ю. А. Родионов
| Автор: | Ю. А. Родионов |
| Издательство: | Инфра-Инженерия |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2019 |
| isbn: | 978-5-9729-0336-8 |
Рассмотрены основные твердотельные датчики, применяемые преимущественно в наукоемких областях (точная механика и оптика, микро- и наноэлектроника, атомная энергетика, военное дело): датчики на основе гальваномагнитных эффектов, датчики давления, температуры и теплового излучения, скорости и ускорения, газоанализаторы, датчики влажности, изображения, детекторы радиоактивного излучения, актюаторы и сенсоры вакуумно-плазменных технологий, обеспечивающие высокое качество продукции при изготовлении указанных датчиков. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.