Выращивание монокристаллов германия с низким содержанием дислокаций и примесей - Александр Шиманский
| Автор: | Александр Шиманский |
| Издательство: | Сибирский федеральный университет |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Прочая образовательная литература |
| Год издания: | 2013 |
| isbn: | 978-5-7638-2822-1 |
В монографии обобщен экспериментальный материал отечественных и зарубежных ученых по проблеме получения монокристаллов германия с низким содержанием дислокаций и примесей. Представлены собственные результаты авторов по выращиванию малодислокационных и особо чистых кристаллов германия, разработке новых контейнерных материалов, исследованию поведения кислорода в германии и его влияния на структурное совершенство монокристаллов. Предназначена для специалистов, занимающихся изучением и производством полупроводников, а также студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки «Материаловедение и технологии материалов», «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники».