Технологии субмикронных структур микроэлектроники - Коллектив авторов
| Автор: | Коллектив авторов |
| Издательство: | Издательский дом “Белорусская наука” |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2018 |
| isbn: | 978-985-08-2298-7 |
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.