Входной и технологический контроль материалов и структур в твердотельной СВЧ-электронике (лабораторные работы) - Ю. В. Колковский
| Автор: | Ю. В. Колковский |
| Издательство: | Техносфера |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2017 |
| isbn: | 978-5-94836-471-1 |
Методические указания содержат описание лабораторных работ по курсу «Методы исследования материалов и структур микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники». В сборнике представлены лабораторные работы по электрическим, оптическим, рентгеновским и электронно-микроскопическим методам контроля свойств материалов и структур, применяющихся в технологии микроэлектроники и твердотельной СВЧ-электроники. Материал предназначен для магистров дневного отделения с направлением подготовки по специальности 11.04.04, а также может быть использован аспирантами с направлениями подготовки по специальностям 05.27.01 и 05.27.06, научными работниками и инженерами базового предприятия.