Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии - Игорь Житяев
| Автор: | Игорь Житяев |
| Издательство: | Южный Федеральный Университет |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 0 |
| isbn: | 9785927523955 |
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».