Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 1. Сканирующая зондовая микроскопия - Борис Кольцов
| Автор: | Борис Кольцов |
| Издательство: | НГТУ |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2013 |
| isbn: | 978-5-7782-2158-1 |
Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».