Физические основы вакуумной техники. Александр Василевский. Скачать в формате fb2, epub, doc, txt. Newlib. NEWLIB.NET

Физические основы вакуумной техники - Александр Василевский

Автор: Александр Василевский
Издательство: НГТУ
Серия:
Жанр произведения: Учебная литература
Год издания: 2014
isbn: 978-5-7782-2424-7

Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.