Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2 - Александр Величко
| Автор: | Александр Величко |
| Издательство: | НГТУ |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2014 |
| isbn: | 978-5-7782-2534-3 |
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».