Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны - Аскер Кушхов
| Автор: | Аскер Кушхов |
| Издательство: | МИСиС |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2012 |
| isbn: |
Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии. Анализируются особенности взаимодействия электронов с тонкопленочными гетерокомпозициями, включая дефектообразование. Рассматриваются основы теории электронно-лучевого нагрева облучаемого электронами твердого тела.