Математическое моделирование технологических процессов. Моделирование в среде MathCAD - Виктор Никоненко
| Автор: | Виктор Никоненко |
| Издательство: | МИСиС |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Техническая литература |
| Год издания: | 2001 |
| isbn: |
В практических работах рассматриваются процессы формирования функциональных слоев полупроводниковых приборов. Приводятся необходимые сведения по физическим основам процессов и методам математического моделирования этих процессов. Целью практикума является освоение студентами методов математического моделирования технологических процессов с использованием современных персональных компьютеров и математической системы MathCAD.