Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий - Дмитрий Крутогин
| Автор: | Дмитрий Крутогин |
| Издательство: | МИСиС |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Педагогика |
| Год издания: | 2015 |
| isbn: |
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».