Конструктивно-технологические основы микроэлектроники - М. Филяк
| Автор: | М. Филяк |
| Издательство: | БИБКОМ |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | Учебная литература |
| Год издания: | 2011 |
| isbn: |
В учебном пособии представлены общие сведения о технологии интегральных микросхем, дана их классификация и кратко описаны основные технологические операции. Основное внимание уделено технологии полупроводниковых микросхем. Рассмотрены также операции изготовления гибридных интегральных микросхем.