Технологические процессы микроэлектроники - В. В. Макарчук
| Автор: | В. В. Макарчук |
| Издательство: | МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет) |
| Серия: | |
| Жанр произведения: | |
| Год издания: | 2016 |
| isbn: | 978-5-7038-4358-1 |
Описана методика проведения лабораторных работ по дисциплине «Технологические процессы микроэлектроники», выполнение которых необходимо для приобретения студентами начальных навыков распознавания элементов топологии полупроводниковых интегральных микросхем и практической работы с оборудованием, используемым при их производстве. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры», а также других специальностей факультета «Информатика и системы управления», подготовка которых предусматривает изучение дисциплин, связанных с технологиями микроэлектроники.